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光譜反射儀 Reflectometer (FTP)

反射式膜厚儀 RM1000/RM2000

  1. 產品說明
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  3. 詳情咨詢

SENTECH ’ Reflectometer RM能夠在UV-VIS-NIR光譜范圍對單層膜、多層膜和基底材料進行高精度反射光譜測量。可對吸收或透明基底上的透明或弱吸收薄膜分析厚度和折射率 

主要特點

高精度反射率測量,非接觸,正入射光 

寬光譜范圍,可從 UVNIR 

測量反射率曲線R, 薄膜厚度,折射率 

FTPexpert 軟件,用于測量薄膜的光學參數 

測量半導體混合物的組分 (例如: AlGaN on GaN) 

分析各向異性薄膜 

 

技術指標

QQ截圖20180524155955.png

 

光譜范圍擴展至DUV (200 nm) 

光譜范圍拓展至NIR (1700 nm) 

x-y 地貌圖掃描樣品臺和軟件 

攝象頭 

PC

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