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激光橢偏儀 Laser Ellipsometer

激光橢偏儀SE 400advanced?

  1. 產品說明
  2. 產品規格
  3. 詳情咨詢

多角度激光橢偏儀 SE400advanced使用632.8nm波長HeNe激光器,對測量薄膜厚度,折射率和吸收系數有非常出色的精度。 SE400advanced能夠分析單層膜,多層膜和大塊材料(基底) 

超高精度和穩定性,來源于高穩定激光光源、溫度穩定補償器設置、起偏器跟蹤和超低噪聲探測器 

高精度樣品校準,使用光學自動對準鏡和顯微鏡 

快速簡易測量,可選擇不同的應用模型和入射角度 

多角度測量,可完全支持復雜應用和精確厚度 

全面的預設應用,包含微電子、光電、磁存儲、生命科學等領域 

 

技術規格 

激光波長632.8 nm 

150 mm (z-tilt) 載物臺 

入射角度可調,步進5º 

自動對準鏡/顯微鏡,用于樣品校準 

Small footprint 

以太網接口連接到PC 

 

微細光斑選項,光斑直徑30微米 

手動x-y方向移動載物臺,行程150 mm 

地貌圖 選項 (x-y方向, 最大行程200 mm, 帶有真空吸附

攝象頭選項,用于取代目鏡進行樣品對準 

液體膜測量單元 

自動對焦選項,同地貌圖選項結合 

反射式膜厚儀FTPadvanced,光斑直徑80微米 

雙波長激光 (405 nm 1550 nm) 

SIMULATION軟件  

針對粗糙表面硅太陽能電池的測量裝置

 

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